半導(dǎo)體晶圓溫度控制器

簡要描述：與自來水冷卻方式相比,Huber Unichiller 系列制冷器提供更高效率，提供穩(wěn)定的壓力和傳遞性能，以及恒定的冷卻水溫度。降低水耗量，保護(hù)環(huán)境，降低操作成本。半導(dǎo)體晶圓溫度控制器適用于化學(xué)反應(yīng)中散熱，制冷技術(shù)設(shè)備，以及實(shí)驗(yàn)室集中冷卻水供應(yīng)。適用于在高達(dá) +40°C的環(huán)境溫度下連續(xù)工作。選擇露天保護(hù)和冬季操作模式，可以即將其放在戶外使用。

更新時(shí)間：2024-11-14
產(chǎn)品型號(hào)：Unichiller 060T-H
訪問次數(shù)：3467
產(chǎn)品品牌：德國Huber
所屬分類：半導(dǎo)體溫控
推薦指數(shù)：★★★★★

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詳細(xì)說明：

與自來水冷卻方式相比，半導(dǎo)體晶圓溫度控制器提供更高效率。提供穩(wěn)定的壓力和傳遞性能，以及恒定的冷卻水溫度。降低水耗量，保護(hù)環(huán)境，降低操作成本。適用于化學(xué)反應(yīng)中散熱，制冷技術(shù)設(shè)備，以及實(shí)驗(yàn)室集中冷卻水供應(yīng)。所有Unichillers 適用于在高達(dá) +40°C的環(huán)境溫度下連續(xù)工作。選擇露天保護(hù)和冬季操作模式，可以即將其放在戶外使用。擴(kuò)展泵壓力和流量可以應(yīng)用于高壓降。

半導(dǎo)體晶圓溫度控制器參數(shù)：

一般信息和溫度控制器

溫度范圍

-20...100 °C

溫度穩(wěn)定性

±0,2 °C

控制器

Pilot ONE (E-grade "Basic")

安全等級(jí)

III / FL

保護(hù)級(jí)別

IP20

外形尺寸 (寬 x 長 x 高)

600 x 692 x 1613 mm

重量

228 kg

加熱/制冷功率

加熱功率

2 kW

制冷功率

15	0	-10	-20	°C
6	5	2,8	1,4	kW

制冷方式

air-cooled

制冷劑

R449A (A1, H280)

循環(huán)泵

壓力泵大值

80 l/min ; 5,6 bar

泵連接螺紋尺寸

G1 1/4 AG male

連接件

Pt100連接件

Pt100

數(shù)字接口

RS232, Ethernet, USB Device, USB Host

操作數(shù)據(jù)

允許的環(huán)境溫度

5 ...40 °C

小填充體積

5 L

膨脹容器填充體積

7,5 L

電源

400V 3~ 50Hz *

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